第三百九十六章 投影曝光[第2页/共3页]

“如何，尼康现在不想把我扫地出门了？”周硕低头抠动手指甲，心不在焉的问道。

“这么说吧――”周硕悄悄的吹了吹用指甲刀磨好的指甲，垂垂收敛起笑容道：“停业和出售光刻机子公司，尼康挑选哪个？”

“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的题目了。

把镜头和晶圆直接打仗，或者二者之间只要小裂缝的靠近，这类光刻机被称之为打仗、靠近式暴光技术。因为利用这类技术的光刻机镜头要和晶圆停止完整的打仗，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。

周硕这话说完，俄然劈面噗通一声。鹤田在众目睽睽之下，竟然从凳子上滑了下去！

鹤田牙缝里再敢蹦个“不”字，尼康就要被管杀不管埋了。

这类设想自有其好的一面，对镜头精度要求低，体系庞大度低，以及成像质量高之类的长处。但也有其致命的缺点，0.35微米工艺根基上就是其经济性的极限了。

鹤田如何会不晓得周硕说的是甚么，恰是因为他晓得，以是才心中惊骇万分。尼康和intel签订的合约不说是绝对奥妙，但也不是谁想晓得都能晓得的。固然对此次条约提出了这么高的违约金感到奇特，但因为完整把握了光刻机市场，尼康并没有过分在乎。

即便如此，他仍然叮咛部下让人去查询相干的专利环境。一纸证书能够表现的东西有限，专利注册的时候需求供应很多技术思路，说不定也会有所收成。不过那都是今后的事情了，现在周硕表示的来的气力，却不答应他再肆无顾忌的打压下去。

但是究竟证明。中国人比他们设想的要强大的多。这对鹤田来讲，不啻是一个庞大的讽刺。

可惜，鹤田必定是不敢咬死人的。

如果没有周硕的滋扰，从0.35微米工艺向0.25微米工艺过渡的光刻机，实在汗青上实际利用的是步进反复投影暴光技术。..xstxt..

他对反复投影式暴光技术并不陌生，如果说沉浸式光刻技术是左道傍门，那投影式暴光就是王谢正道！光刻机晋升机能的首要体例，大多都是通过增加光学体系精度实现的――而反复投影暴光技术，能够说是将这类思路持续到了极致！

步进投影技术不但能摆脱对防水光刻胶的依靠。更首要的是只要稍作优化，立即就又能把光刻机制程技术向前推动一个期间……

intel现在是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美圆的违约金好拿不好用，除非intel今后再也不进级光刻机工艺程度，不然如何敢这么获咎尼康？

对于沉浸式光刻技术而言。投影式暴光技术最大的好处就是――制止了利用防水光刻胶的高本钱。

就仿佛挪动吞了用户的月残剩流量，绝大多数挪动收集用户都不会说这不公道，即便不公道也要有这个本钱去和把持本钱构和啊！

他自以为用了一其中国成语还是很值得欢畅的事情，得意的笑着笑着却再也笑不下去了，因为劈面的周硕脸上始终都是冷冰冰的一片。

因而在本来的汗青上，尼康也好、阿斯麦也好都挑选了另一条路，那就是非打仗式暴光。也就是投影式暴光技术。