第三百九十六章 投影曝光[第1页/共3页]

在阿斯麦已经推出合作的明天，全部光刻机高端市场都落入了尼康的手里，尼康光刻机就是天子的女儿――不愁嫁。在这类合作干系下，条约就是一张纸，intel又如何敢真的去收尼康的违约金？

除了沉浸式光刻技术这类独辟门路的取巧之道，日本人毫不信赖泛翰个人还能在其他方向产生冲破，他们手里的底牌也就是仅此罢了。

鹤田背靠在椅子上，心知这类事情是不成能作假的。只要他一个电话畴昔，用不了半个小时查询成果就能出来，耍这类把戏毫偶然义。

“好吧，周桑。”鹤田呼出一口气，这类胜利即将到手却被人绝地翻盘的感受，实在是太伤士气了。他强打精力抬开端来，看向周硕说道：“既然环境呈现了窜改，尼康能够重新考虑本来的要求。违约金、退股和迁徙出产线这些题目，我们都能够好好谈一谈……”

“呵呵，看来鹤田桑真是朱紫多忘事。”周硕不觉得意的耸了耸肩，暴露一口洁白的牙齿笑道：“您能够想想看，如果阿斯麦获得了反复投影暴光技术，intel是否还会如许有耐烦的等候下去？”

把镜头和晶圆直接打仗，或者二者之间只要小裂缝的靠近，这类光刻机被称之为打仗、靠近式暴光技术。因为利用这类技术的光刻机镜头要和晶圆停止完整的打仗，对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。

intel现在是求着尼康供货，而不是尼康求着intel。这五个亿美圆的违约金好拿不好用，除非intel今后再也不进级光刻机工艺程度，不然如何敢这么获咎尼康？

可惜，鹤田必定是不敢咬死人的。

“周桑这话是甚么意义？”鹤田的脸上可贵呈现了一丝慌乱，强笑道：“你知不晓得尼康是甚么公司，岂是能说停业就停业的？”

“周桑……这个文件是真的？”鹤田张了张嘴，脑袋里一团乱麻，只能问出这么没有营养的题目了。

你们要不要这么逆天？！

实在提及来，周硕现在真的很想哈哈大笑一下，以宣泄本身内心的畅快！

0.25微米工艺光刻机想要持续打仗式暴光，全部体系需求的机器紧密程度，掩膜版的本钱、掩膜版和硅片的打仗紧密度，体系的集成难度都开端了多少级数的增加。

即便如此，他仍然叮咛部下让人去查询相干的专利环境。一纸证书能够表现的东西有限，专利注册的时候需求供应很多技术思路，说不定也会有所收成。不过那都是今后的事情了，现在周硕表示的来的气力，却不答应他再肆无顾忌的打压下去。

“呃，谈谈你手里的技术。”鹤田老脸一红，如许的窜改未免过分生硬了一些，不过这时候却也顾不得了：“说实话为了实现利润最大化，现在就公布投影步进式光刻技术并不是一个好主张。要我说大可当作储备技术，等我们在沉浸式光刻机上面赚到对劲以后，再放出这项技术来。”

从0.35微米工艺都没提高的程度。直接跳到0.18微米，能够设想这会在市场上掀起如何的腥风血雨。

对于沉浸式光刻技术而言。投影式暴光技术最大的好处就是――制止了利用防水光刻胶的高本钱。

这类技术说白了，就是仿佛平常用放大镜堆积太阳光一样。用棱镜体系将光源从远处投射到硅片上。如许颠末几次聚焦、折射、再聚焦，终究投影到硅片上的图形比掩膜版乃至能够小上4倍。