第八十六章 自强不息[第3页/共3页]

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JSR调剂出产，加大出产i线光刻胶，降落g线光刻胶，也停止跟无疆微电子公司的合作。

直到2002，台积电的林本坚提出了193nm淹没式光刻的观点，此前，光刻机都是干式光刻机。